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单束离子研磨仪
产品简介

HSC121单束离子研磨仪,配备一把鞍型场离子枪及不同的样品台和装样工装,用于对样品进行高精 度抛光和切割。

产品型号:HSC121
更新时间:2026-09-02
厂商性质:生产厂家
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品牌乐研品牌类型专用研磨机
应用领域综合

HSC121单束离子研磨仪配备一把鞍型场离子枪及不同的样品台和装样工装,用于对样品进行高精 度抛光和切割。

HSC121单束离子研磨仪主要参数

真空系统

· 真空获得:前级机械泵,后级分子泵

· 极限真空:优于104Pa

离子枪

· 离子枪种类:鞍型场枪,非聚焦

· 离子枪数量:1把

· 离子枪加速电压:0~10kV

· 离子枪工作电流:最大6mA

· 离子枪工作气体:氩气,纯度高于99.999%

· 进气气压:200~800mbar

· 气体流速:小 于 1sccm, 控制精度1%

· 离子枪套件寿命:不小于200h

抛光样品台

· 样品台旋转:支持360°连续旋转,电机驱动

· 样品台倾转:手动拨动,最大25°

切割样品台

· 样品台旋转:支持中心线摆动,电机驱动

· 样品台倾转:手动拨动,最大25°

单束离子研磨仪

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