




产品简介
| 品牌 | 乐研品牌 | 类型 | 专用研磨机 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
HSC121单束离子研磨仪配备一把鞍型场离子枪及不同的样品台和装样工装,用于对样品进行高精 度抛光和切割。
HSC121单束离子研磨仪主要参数
真空系统
· 真空获得:前级机械泵,后级分子泵
· 极限真空:优于104Pa
离子枪
· 离子枪种类:鞍型场枪,非聚焦
· 离子枪数量:1把
· 离子枪加速电压:0~10kV
· 离子枪工作电流:最大6mA
· 离子枪工作气体:氩气,纯度高于99.999%
· 进气气压:200~800mbar
· 气体流速:小 于 1sccm, 控制精度1%
· 离子枪套件寿命:不小于200h
抛光样品台
· 样品台旋转:支持360°连续旋转,电机驱动
· 样品台倾转:手动拨动,最大25°
切割样品台
· 样品台旋转:支持中心线摆动,电机驱动
· 样品台倾转:手动拨动,最大25°


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