IMP120多束离子研磨仪，配备三把宽场鞍型场离子枪， 以氩气作为工作气体，可以产生稳定的宽场氩离子束流。

IMP120多束离子研磨仪配备三把宽场鞍型场离子枪， 以氩气作为工作气体，可以产生稳定的宽场氩离子束流。

IMP120 通过更换可拆卸式的样品台 来实现不同的功能。不同的样品台分别可以实现氩 离子平面抛光、截面切割、双面减薄等不同功能， 并可选配真空传输、冷台和冷冻传输装置，对样品 进行进一步的保护，是一种多功能的电镜样品微纳 加工设备。

IMP120多束离子研磨仪主要参数

离子枪

· 离子枪种类：鞍型场枪，非聚焦

· 离子枪数量：3把

· 离子枪加速电压：0~10kV

· 离子枪工作电流：最大6mA

· 离子枪工作气体：氩气，纯度高于99.999%

· 进气气压：200~800mbar

· 气体流速：小 于 1sccm, 控制精度1%

· 离子枪套件寿命：不小于200h 抛光样品台

· 样品台旋转：支持360°连续旋转

· 电机转速：三档调节，2RPM、6RPM、12RPM

· 样品台倾转：最大45°

· 样品台X方向调节：±10  mm

· 最大样品尺寸：φ30mm

· 最大样品厚度：14mm

· 配备抛光样品装样工装

切割样品台

· X方向调节：±7mm

· Y方向调节：±2mm

· 配备切割样品装样工装

真空系统

· 真空泵组：前级机械泵加后级涡轮分子泵

· 极限真空：优于5*104Pa

· 真空测量方式：全量程真空规

· 真空系统清洗：工作气体清洗

· 清洗时间和次数：用户可设定

选配项

减薄样品台

· 样品台旋转：支持360°连续旋转

· 电机驱动：三档调节，2RPM、6RPM、12RPM

· 样品台倾转：最大45°

· 样品装夹方式：双角夹持

· 观察方式：摄像头、双目、三目显微镜选配

· 自动终止功能：支持

冷冻抛光样品台

· 样品台旋转：支持360°连续旋转

· 电机转速：三档调节，2RPM、6RPM、12RPM

· 样品台倾转：最大45°

· 样品台X方向调节：±10   mm

· 最大样品尺寸：φ30mm

· 最大样品厚度：14 mm

· 低温度：优于-160℃

冷冻切割样品台

· X方向调节：±7mm

· Y方向调节：±2mm

· 低温度：优于-160℃

真空冷冻传输装置

· 适配隆斯克普CVC100真空冷冻样品转移仓