
产品简介
| 品牌 | 乐研品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 综合 |
SC600T高真空多功能镀膜仪介绍:
磁控溅射+热蒸发镀碳双功能
满足各种扫描电镜导电膜制备
及透射电镜碳膜制备需求
多功能样品台
支持旋转、升降及倾斜功能
双功能一键切换
一键镀膜,全自动操作
双组件均配备防污染系统
有效保护镀膜组件
进口分子泵
极限真空优于5E-3Pa
SC600T高真空多功能镀膜仪主要参数: | |||
外形尺寸 | 278(L)×494(H)×467(D) mm | 供电要求 | AC220V/50Hz <1000W |
溅射靶材 | Φ50mm,厚度0.1-4mm | 可用靶材 | 所有金属、导电材料等 |
工作电流 | 1-200mA可调(步长:1mA) | 镀膜时间 | 1-9999s可调(步长:1s) |
蒸发源 | 高纯碳纤维 | 蒸发模式 | 闪断模式、脉冲模式 |
真空室 | 170(L)×150(H)×163.5(D) mm 一体加工金属腔室 | 极限真空 | ≤5×10-3Pa |
真空泵 | 旋片泵(可选干泵)+分子泵 | 主真空泵抽速 | 90L/s |
预溅射 | 全自动预溅射系统,防止样品污染及组件污染、提高镀膜纯度 | ||
样品台 | Φ120mm,支持旋转、升降功能 | ||
其它 | 真空度、工作电流可实时曲线显示 | ||

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